超高真空磁控濺鍍系統
 用途 : 磁性薄膜製程設備
 


六靶式磁控濺鍍系統
 用途 : 磁性與電性樣品特性檢測
 

光學磁區分析儀
 用途 : 磁區微結構分析

高解析偏光顯微鏡
 用途 : 樣品表面觀測

變溫式磁力梯度儀
用途 : 磁滯曲線之量測與磁阻效應之分析
 

交替式磁力梯度儀
  用途 磁滯曲線量測
 

電性量測平台
 用途 : I-V曲線、MR、RA等檢測
 
加場式退火爐
用途:加場退火